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    潔凈室工程

    潔凈室的發展與現代工業、技術密切聯系在一起。由于精密機械工業(如陀螺儀、微型軸承等加工)、半導體工業(如大規模集成電路生產)等對環境的要求,促進了潔凈室技術的發展。國內曾統計過,在無潔凈級別的要求的環境下生產MOS電路管芯的合格率僅10%~15%,64為儲存器僅2%。目前在精密機械、半導體、宇航、原子能等工業中應用潔凈室已相當普遍。

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     潔凈室的發展與現代工業、技術密切聯系在一起。由于精密機械工業(如陀螺儀、微型軸承等加工)、半導體工業(如大規模集成電路生產)等對環境的要求,促進了潔凈室技術的發展。國內曾統計過,在無潔凈級別的要求的環境下生產MOS電路管芯的合格率僅10%~15%,64為儲存器僅2%。目前在精密機械、半導體、宇航、原子能等工業中應用潔凈室已相當普遍。


    潔凈室設計是一項相關專業綜合完成的設計技術,它與一般工業廠房設計有類似之處,但也具有自身的特點,其主要的特點如下:


    根據潔凈室擬生產的產品的門類、品種或使用情況,確定所設計潔凈室的控制對象及技術要求,如對生物潔凈室,其控制對象是空氣中的塵粒、微生物種類和濃度、壓差等的要求是不同的,又如集成電路生產用潔凈室,其控制對象主要是空氣中的塵粒,按集成電路的特征尺寸,集成度的不同,對空氣潔凈度等級、防微振、高純特質等的要求是不同的,應按具體工廠的產品品種確定。

    為確保潔凈內所必須的空氣潔凈度,潔凈室設計中涉及到的各個專業設計均應采取妥善的、可靠的技術措施,以減少或防止室內產塵、滋生微生物,減少或阻止將微粒/微生物或可能會造成交叉污染的物料帶入潔凈室內,有效地將室內的微粒/微生物排出,以減少或防止它們滯留潔凈室內,對于因塵粒/微生物或物料的交叉污染會危害產品質量或人身安全時,還應采取安全,可靠的技術措施防止交叉污染,如嚴格控制不同用途的潔凈室之間的靜壓差,按要求合理地劃分凈化空調系統以及回風系統的妥善設計等。

    潔凈室設計是各專業設計技術的綜合,尤其是潔凈室的工藝設計、潔凈建筑設計、空氣凈化設計和各種特殊要求的設計技術的密切協同,相互滲透和合理安排的綜合設計,潔凈室設計應做到順應工藝(或使用)流程、合理選擇各類設備和裝置,盡力實現人流和物流的順暢短捷、氣流流性選擇得當,凈化空調系統配置合理、各種特殊要求的技術措施得當,潔凈廠房的平面、空間布置合理,實現可靠經濟運行的潔凈廠房設施。

    潔凈室設計應確保安全生產和滿足環境保護的要求,潔凈室的布置和各項設施的設計均必須符合消防、防火的要求,應按的有關標準,規范進行設計,由于潔凈室內的平面和空間布置特殊,走道曲折等特點,在進行各項技術設施的系統設計、設備配置和材質選擇時,應特別注意按規定選用符合要求的系統,設備和材質。

    隨著科學技術的發展,工業產品的更新換代很快,人們對生活質量要求也越來越高,工業潔凈室、生物潔凈室的建造日新月異,因此潔凈室設計本身便具有高新技術、技術密集和資金密集的特點,為了提高潔凈室建成后的技術經濟效益,在進行潔凈室設計時應設法盡可能地考慮一定的靈活性,以便使建成后的潔凈室能隨著科學技術的發展,可以方便地進行技術改造,適應產品換代或設備更新的要求。


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